上海微電子中國首臺2.5D/3D先進封裝光刻機正式交付客戶
2022-02-09 11:48:42|
來源：搜狐科技 作者：
2月7日，上海微電子舉行首臺2.5D/3D先進封裝光刻機發(fā)運儀式，這標志著中國首臺2.5D/3D先進封裝光刻機正式交付客戶。去年9月18日，上海微電子舉行了新產(chǎn)品發(fā)布會，宣布推出新一代大視場高分辨率先進封裝光刻機。上海微電子曾表示，當時已與多家客戶達成新一代先進封裝光刻機銷售協(xié)議，首臺將于年內(nèi)交付。
據(jù)悉，當時推出的新品光刻機主要應用于高密度異構(gòu)集成領(lǐng)域，具有高分辨率、高套刻精度和超大曝光視場等特點，可幫助晶圓級先進封裝企業(yè)實現(xiàn)多芯片高密度互連封裝技術(shù)的應用，滿足異構(gòu)集成超大芯片封裝尺寸的應用需求，同時將助力封裝測試廠商提升工藝水平、開拓新的工藝，在封裝測試領(lǐng)域共同為中國集成電路產(chǎn)業(yè)的發(fā)展做出更多的貢獻。
